|
|
锦州鑫祺真空设备有限公司
|
|
|
|
|
|
我公司是专业生产磁控溅射镀膜设备的公司,尤其是专业生产用于镀制电阻的磁控溅射镀膜设备。我公司根据电阻的成膜特点及工艺特性,对电阻镀膜机进行科学改进,可镀制国际上最一流的电阻黑棒。我公司也是国内唯一一家专业生产磁控源的公司,利用我公司磁控源,不仅提高了电阻产品质量,也节省了大量的靶材费用。
利用我公司设备及磁控源镀制的电阻膜,经有关电阻行业检验证明,其电气性能都优于美国TRC2020、国产JPG型设备镀制的电阻膜,尤其是长期稳定性更为出色。
1.利用率为50%~55%靶材高利用率磁控源。
该磁控源靶材利用率比美国TRC2020、国产JPG型设备所配磁控源利用率提高了2.5倍。
2.可调型磁控源。
我公司可调型磁控源可在不拆卸磁控源的情况下,自由改变磁场形状,它可以在平衡与非平衡之间任意调节,是平衡磁控源与非平衡磁控源的结合体。它还可以自由控制离子对正在生长膜层的轰击,这一点对镀膜是非常重要的。
可调型磁控源通过手动旋扭来调节磁场强度和形状,可调范围很大,可在工作前根据镀膜要求调节到最佳效果。
由于该磁控源可自由调节平衡与非平衡的程度,所以该磁控源镀制膜层结构远远优于固定结构的磁控源镀制的膜层。利用该磁控源可以更好的控制膜层。
3.我公司SJG-75型滚落式双阴极平面磁控溅射金属膜电阻镀膜机已经申请国家专利,其主要特点是:1.靶材利用率高:此种设备配有靶材高利用率磁控源;2.采用滚落循环送料方式,使电阻基体无反复摩擦,消除“球磨机”现象;3.电阻基体温升可控。本机装有水冷装置,增加了散热效果,并且采用滚落循环送料,抑制了摩擦生热,所以电阻基体温升容易控制,使电阻薄膜的结晶更加细化;4.电阻基体可加偏压:本机可在电阻基体施加偏压,增加了镀膜工艺的灵活性,使薄膜的结晶和结构更易于控制,从而改善薄膜的电气特性;5.适用于超高阻电阻的镀膜:本机可降低高阻膜的电阻率,从而增加高阻膜膜层厚度,使其电气性能更加出色;6.电阻基体镀膜时间短:本机采用双阴极磁控溅射,提高了单位时间的沉积速率,更易于形成连续均匀的膜层,既节省了时间,又节约了能源,这一点上更适用于超低阻电阻的镀膜。
4.我公司现生产片装电阻镀膜机
|